产品描述
PK3L80-200U拥有三种不同行程运动轴产品，均采用柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动，适用于高运动平面度和直线度的纳米定位及扫描领域。
PK3L80-200U系列非常适合从光学研究到OEM系统及科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，PK3L80-200U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
本产品具有亚纳米性能。压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器具有更高的线性度及重复定位精度。
压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—XYZ最大位移：200x200x200μm（闭环）
—中孔尺寸：Ø35mm
—最大承载能力：0.6Kg
—超紧凑型设计
—平行运动导向结构
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                              堆叠形式                                              典型应用

PK3L80-200UA/200UB/200UC系列技术参数