产品描述
PS3L90-100UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。Z轴设计为500微米大行程运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。 在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。
产品特性
—XY位移100μmx100μm
—多种负载安装孔位
—500微米Z轴大行程设计
—无磁材质
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制其他材质
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—光通信技术

结构原理                                              位移特性                                                典型应用

PS3L90-100UA系列技术参数