产品描述
PS2L45-030U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
压电位移台由经过电火花线切割和精密CNC加工的固态金属棒制成。可移动平面部分挂在弹性铰链上，并由压电执行器驱动。我们设计提供了出色的线性度和平整度。 此外，平面平行扫描仪具有更高的机械强度。
多轴纳米台配备了用于闭环控制的SGS式位移传感器。它提供了很高的运动精度和线性度，并消除了压电陶瓷的蠕变效应。
体积小，外形尺寸仅有45x45x23.5mm，具有高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。参数也可根据客户要求定制。
产品特性
—高速1ms响应，多轴定位
—最短的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—物镜对准
—磁盘驱动器测试
—半导体晶片接合
—光学探针、光学扫描
—光束对准

结构原理                                              位移特性                                                典型应用

PS2L45-030U系列技术参数