产品描述
PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。
本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。
产品特性
—单轴运动
—运动可达5μm（闭环）
—最大承载0.8kg
—Z轴紧凑型设计
选配功能
—可定制安装、负载固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ、XY和XYZ版本
应用领域
—纳米压印、纳米计量、纳米光刻
—原子力显微镜、扫描电镜
—生物技术、干涉测量
表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术

结构原理                                               位移特性                                            典型应用

PSVH30-005U系列技术参数