产品描述
显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于光线通过），PK1L60-080U压电扫描台（带有25mm的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在X运动轴上的运动可达80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PK1L60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK1L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
PK1L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—X位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：Φ25mm
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
—柔性铰链确保高可靠性
纳米和亚纳米范围内的高分辨率
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择Z、XZ、XY、XYZ轴版本
应用领域
—光纤定位
—镜头聚焦
—掩模、晶圆定位
—干涉法测量技术
—纳米操纵

结构原理                                               堆叠形式                                                 典型应用

PK1L60-080U系列技术参数