产品描述
PK2L80-200U采用柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动,适用于高运动平面度和直线度的纳米定位领域。
PK2L80-200U系列非常适合从光学研究到OEM系统及科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，PK2L80-200U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—XY位移：200μm（闭环）
—中孔尺寸：Ø35mm
—最大承载能力：0.5Kg
—紧凑型大位移设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XYZ轴版本（80μm）
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                              堆叠形式                                                典型应用

PK2L80-200U系列技术参数