上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述
PFB-030U是重载设计直接驱动型的压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域，它设计为30μm的行程，非常适合短距离聚焦应用。
PFB-030U的应用范围包括：Z向移动，3D成像，自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使用。PFC-050U/100U本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。
黄铜安装环可以轻松更换，以使每个物镜都适合PFC纳米定位器。可用的标准产品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。
零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜的高动态定位和扫描。
可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。
产品特性
—位移：30μm（闭环）
—螺纹尺寸：W0.8x1/36“至M38x0.75
—适用于质量达1Kg专用物镜
—带载500g物镜典型步进和稳定约为3ms
—较大物镜的高动态定位和扫描
选配功能
—可定制转接装置及固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择定制其它螺纹规格
应用领域
—半导体晶元切割、半导体测试、生物技术
—自动聚焦系统、测量技术
—干涉测量、筛选
—3D成像、共聚焦显微镜
—光学圆盘显微镜、超分辨率显微镜

结构原理                                              步进图像                                               典型应用

PFB-030U系列技术参数