上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述
PKWL80-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在XZ运动轴上的运动均可达80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PKWL80-080U定位系统可以配备电容测量系统，PKWL80-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。压电扫描台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其结构紧凑、具有无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
PKWL80-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。

产品特性
—XZ位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：45x45mm
—最大承载能力：0.6Kg
—高度紧凑型设计
—高精度柔性铰链结构导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XYZ轴版本（80μm）
应用领域
—光学对准（紫外线，EUV，电子束和X射线）
—掩模和晶圆检查系统（包括临界尺寸CD）
—测量和控制
—晶圆夹头纳米对准
—自动对焦

结构原理                                             堆叠形式                                                典型应用

PKWL70-080U系列技术参数