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超临界微粒制备装置包括：周期性定量压力气源模块、密封喷射腔和超微喷嘴，其中：密封喷射腔固定设置于所述制备装置的中心处，超微喷嘴位于密封喷射腔的侧壁，周期性定量压力气源模块包括位于同一轴线上依次相连设置的气源连接器、紧固式联轴器和旋转定量气体分配器，旋转定量气体分配器的输出端分别与密封喷射腔和熔炼坩埚相连接。
微粒粒度分布窄、球形度高、适用性强、工艺流程短、可控性好、设备简单、成本低和生产效率高等要求，周期性定量压力气源模块包括位于同一轴线上依次相连设置的气源连接器、紧固式联轴器和旋转定量气体分配器，旋转定量气体分配器的输出端分别与密封喷射腔和熔炼坩埚相连接。
气体从气源连接器通过联轴器管道，进入旋转定量气体分配器在周期性转动分割作用下定量分配至两个支管道，一个支管道连接至密封喷射腔，腔内熔体通过压力差作用从密封喷射腔经由超微喷嘴以定量均匀液段或均匀颗粒喷射，另一个支管道连接至熔炼坩埚为密封喷射腔补充等量体积的熔料。
超临界微粒制备装置在材料、化工、轻工、冶金、电子、生物医学领域得到广泛应用，利用超临界流体制备细微粒子这一技术，可以进行颗粒、微球、微胶囊、多孔材料、脂质体及其它微细材料的加工和制备，超细粒子的制备有多种方法，超临界流体沉积技术作为一种高新技术，能够更准确的控制结晶过程，能够生产出平均粒径很小的细微粒子，而且还可控制其粒度尺寸的分布，所以从超临界溶液中进行沉积是一种很有前途的新技术。
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超临界微粒制备装置